@misc{Kaemper2007, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1}, year = {2007}, abstract = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik}, subject = {Mikrosystemtechnik}, language = {de} } @article{KaemperPicardBrilletal.2003, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Merten, Sabine and Rollwa, Markus}, title = {The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies}, year = {2003}, abstract = {The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room.}, subject = {Virtuelle Maschine}, language = {en} } @book{Merten2005, author = {Merten, Sabine}, title = {Verbesserung der Ausbildung in der Mikrosystemtechnik - virtuelle Labore bereiten auf die Herstellung realer Drucksensoren vor (2 Fassungen: konvertiert und original}, publisher = {Fachhochschule Aachen}, year = {2005}, abstract = {Die Ausbildung in Hochtechnologien wie beispielsweise der Mikrosystemtechnik ist oft durch einen hohen Grad an Komplexit{\"a}t charakterisiert. Damit verbunden sind hohe Kosten f{\"u}r die Errichtung und den Betrieb der speziellen Laborr{\"a}ume und ihre h{\"a}ufig geringe Verf{\"u}gbarkeit f{\"u}r die Studierenden. Zuk{\"u}nftige Ingenieure sammeln w{\"a}hrend ihrer Ausbildung aus diesen Gr{\"u}nden nur in beschr{\"a}nktem Umfang praktische Erfahrungen. Die Industrie hingegen fordert Personal mit hoher fachlicher Kompetenz, also fundiertem theoretischen Wissen und umfangreichen praktischen Kenntnissen. Dieser Diskrepanz - qualifizierte Ingenieure auf der einen Seite und eine eher theoretisch ausgerichtete Ausbildung auf der anderen Seite - wird mit einem neuen Blended-Learning-Konzept f{\"u}r MST-Technologiepraktika begegnet. Lernende werden {\"u}ber ein virtuelles Labor, das einen echten Reinraum mit realen Anlagen simuliert, intensiv auf reale Laborpraktika vorbereitet. Dabei geht es im virtuellen Labor gleichermaßen um die Vermittlung von Theorie und Praxis. Nur trainierte Teilnehmer mit einer intensiven Vorbereitung sind in der Lage, relativ eigenst{\"a}ndig ein echtes MST-Bauteil innerhalb des anschließenden einw{\"o}chigen Laborkurses zu fertigen. Die Wirksamkeit des Konzeptes und die Steigerung des Lernerfolges durch die kombinierten virtuellen und realen Laborkurse wurden im Rahmen der Dissertation begleitend untersucht. Die Ergebnisse flossen direkt in die Weiterentwicklung der Technologiepraktika ein. Die Konzepte und Erkenntnisse sind zudem sehr interessant f{\"u}r die Entwicklung von Blended-Learning-Angeboten in {\"a}hnlichen oder anderen Fachgebieten sowie f{\"u}r weitere Bildungseinrichtungen. (Die Dissertation liegt hier in 2 Fassungen vor: Die Originalfassung ist nur bei guter Rechnerausstattung und guter Netzanbindung nutzbar, die konvertierte Fassung ist unver{\"a}ndert, allerdings sind Qualit{\"a}tseinbußen beim Ausdruck einiger Grafiken m{\"o}glich)}, subject = {Mikrosystemtechnik}, language = {de} }