@article{Kaemper2002, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Die Mikroaktorik wird erwachsen}, series = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)}, journal = {INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband f{\"u}r Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)}, pages = {4 -- 5}, year = {2002}, language = {de} } @article{Kaemper1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Development of low-cost injection moulded micropumps. Entwicklung von kosteng{\"u}nstigen, mittels Spritzguß hergestellten Mikropumpen / D{\"o}pper, J. (u.a.)}, series = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH}, journal = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH}, address = {Bremen}, pages = {37 -- 40}, year = {1996}, language = {en} } @article{Kaemper1994, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.}, series = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International}, journal = {Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International}, address = {Stuttgart}, pages = {getr. Z{\"a}hlung}, year = {1994}, language = {de} } @article{Kaemper1996, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.}, series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, journal = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996}, pages = {121 -- 126}, year = {1996}, language = {de} } @article{Kaemper2003, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Education and Training in MST. K{\"a}mper, K.-P.; Picard, A.; Brill, M.; Cassel, D.; Jentsch, A.; Merten, S.; Rollwa, M.}, series = {Mst-News (2003)}, journal = {Mst-News (2003)}, isbn = {0948-3128}, pages = {35}, year = {2003}, language = {en} } @misc{Kaemper2007, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1}, year = {2007}, abstract = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik}, subject = {Mikrosystemtechnik}, language = {de} } @misc{Kaemper2007, author = {K{\"a}mper, Klaus-Peter}, title = {Lecture notes Sensors and Actuators}, year = {2007}, abstract = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Wintersemester 2007/2008. Version vom 30.08.2007. 472 Seiten (pdf-Format)}, subject = {Sensor}, language = {en} }