@article{KaemperLehrEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.},
  title     = {Entwicklung von Mikroantrieben am Institut f{\"u}r Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  journal   = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  publisher = {VDI-Verl.},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091269-3},
  pages     = {77},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}