@inproceedings{PlatenPoghossianSchoening2006,
  author    = {Platen, J. and Poghossian, Arshak and Sch{\"o}ning, Michael Josef},
  title     = {Pr{\"a}paration von selbstjustierenden Nanostrukturen mittels Schichtausdehnungstechnik},
  series = {Sensoren und Mess-Systeme 2006 : Vortr{\"a}ge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14.3.2006 in Freiburg/Breisgau},
  booktitle = {Sensoren und Mess-Systeme 2006 : Vortr{\"a}ge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14.3.2006 in Freiburg/Breisgau},
  publisher = {VDE Verl.},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {3-8007-2939-3},
  pages     = {277 -- 280},
  year      = {2006},
  language  = {de}
}