@misc{BragardDeDonckerMuraetal.2011, author = {Bragard, Michael and De Doncker, R. W. and Mura, F and Dick, C.}, title = {Halbleiterbauelement und Verfahren zur Herstellung desselben [Offenlegungsschrift]}, publisher = {Deutsches Patent- und Markenamt / Europ{\"a}isches Patentamt / WIPO}, address = {M{\"u}nchen / Den Hague / Geneva}, pages = {10 S. / 23 S. : graph. Darst.}, year = {2011}, language = {de} }