@article{SchoeningSchaubBeckersetal.1996,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Schaub, A. and Beckers, L. and Zander, W.},
  title     = {D{\"u}nne Al2O3-Schichten f{\"u}r pH-Sensoren auf Halbleiterbasis mittels Laserablation},
  series = {Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.},
  journal   = {Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. M{\"a}rz 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.},
  publisher = {VDI-Verl.},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091255-3},
  pages     = {381 -- 386},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{SchoeningPraemassingBeckersetal.1998,
  author    = {Sch{\"o}ning, Michael Josef and Pr{\"a}massing, T. and Beckers, L. and Zander, W.},
  title     = {Ein langzeitstabiler pH-Sensor auf Siliziumbasis hergestellt in D{\"u}nnschichttechnik mittels Laserablation},
  series = {Chemie- und Biosensoren : aktuelle Anwendungen und Entwicklungstrends / 3. Dresdner Sensor-Symposium, 8. - 10. Dezember 1997, Dresden-Radebeul. J. P. Baselt ... (Hg.)},
  journal   = {Chemie- und Biosensoren : aktuelle Anwendungen und Entwicklungstrends / 3. Dresdner Sensor-Symposium, 8. - 10. Dezember 1997, Dresden-Radebeul. J. P. Baselt ... (Hg.)},
  publisher = {Dresden Univ. Press},
  address   = {Dresden ; M{\"u}nchen},
  isbn      = {3-933168-03-1},
  pages     = {99 -- 102},
  year      = {1998},
  language  = {de}
}