@article{PoghossianWagnerSchoening2010, author = {Poghossian, Arshak and Wagner, H. and Sch{\"o}ning, Michael Josef}, title = {Automatisiertes ā€˛wafer level"-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren}, series = {Sensoren und Messsysteme 2010 [Elektronische Ressource] : Vortr{\"a}ge der 15. ITG/GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in N{\"u}rnberg / Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG); VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)}, journal = {Sensoren und Messsysteme 2010 [Elektronische Ressource] : Vortr{\"a}ge der 15. ITG/GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in N{\"u}rnberg / Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG); VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)}, publisher = {VDE Verlag}, address = {Berlin}, isbn = {978-3-8007-3260-9}, pages = {89 -- 92}, year = {2010}, language = {de} }