@article{SimonisLuethWangetal.2004,
  author    = {Simonis, A. and L{\"u}th, H. and Wang, J. and Sch{\"o}ning, Michael Josef},
  title     = {Miniaturisierte Referenzelektroden in Siliziumtechnologie f{\"u}r elektrochemische Sensoranwendungen},
  series = {Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. M{\"a}rz 2004 / VDI-VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik},
  journal   = {Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. M{\"a}rz 2004 / VDI-VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik},
  publisher = {VDI},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091829-2},
  pages     = {847 -- 850},
  year      = {2004},
  language  = {de}
}