@article{KaemperSchulzArnoldetal.1995,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Schulz, C. and Arnold, J. and Detter, H.},
  title     = {Anwendungen der LIGA-Technik f{\"u}r medizinische Diagnose- und Therapiesysteme. Schulz, C.; Arnold, J.; Detter, H.; D{\"o}pper, J.; Ehrfeld, W., Erbel, R.; K{\"a}mper, K.-P.; Koch, L.; Lehr, H.; Roth, T.},
  series = {Elektrotechnik und Informationstechnik. 112 (1995), H. 9},
  journal   = {Elektrotechnik und Informationstechnik. 112 (1995), H. 9},
  isbn      = {0932-383X},
  pages     = {493},
  year      = {1995},
  language  = {de}
}
@article{KaemperThuerigenEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Th{\"u}rigen, C. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.},
  title     = {Gesichtspunkte beim Miniaturisieren von Umlaufr{\"a}dergetrieben. Th{\"u}rigen, C.; Ehrfeld, W. ; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.},
  series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  journal   = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  publisher = {VDI-Verl.},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091269-3},
  pages     = {235},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperLehrEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Ehrfeld, W. and Hagemann, B.},
  title     = {Entwicklung von Mikroantrieben am Institut f{\"u}r Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  journal   = {Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM},
  publisher = {VDI-Verl.},
  address   = {D{\"u}sseldorf},
  isbn      = {3-18-091269-3},
  pages     = {77},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperEhrfeldHagemannetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Ehrfeld, W. and Hagemann, B. and Lehr, H.},
  title     = {Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. K{\"a}mper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Th{\"u}rigen, C.; Wittig, T.},
  series = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH},
  journal   = {Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH},
  address   = {Bremen},
  pages     = {429},
  year      = {1996},
  language  = {en}
}
@article{KaemperBergLehretal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Lehr, H. and Ehrfeld, W.},
  title     = {Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.},
  series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  journal   = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperBergWolfetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Berg, U. and Wolf, A. and Lehr, H.},
  title     = {Entwicklung von Linsenhaltern f{\"u}r ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; K{\"a}mper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.},
  series = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  journal   = {Produktionstechnik f{\"u}r Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut f{\"u}r Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperLehrAbeletal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Lehr, H. and Abel, S. and Ehrfeld, W.},
  title     = {Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996},
  journal   = {41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996},
  pages     = {158 -- 163},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperHagemannEhrfeldetal.1996,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Ehrfeld, W. and Lehr, H.},
  title     = {Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996},
  journal   = {Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, M{\"u}nchen, 12. M{\"a}rz. 1996},
  pages     = {1 -- 13},
  year      = {1996},
  language  = {de}
}
@article{KaemperAbrahamEhrfeldetal.1998,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Abraham, M. and Ehrfeld, W. and Hessel, V.},
  title     = {Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; K{\"a}mper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.},
  series = {Microelectronic Engineering. 41-42 (1998)},
  journal   = {Microelectronic Engineering. 41-42 (1998)},
  isbn      = {0167-9317},
  pages     = {47 -- 52},
  year      = {1998},
  language  = {en}
}
@article{KaemperSchmittGuentherodt1988,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Schmitt, W. and G{\"u}ntherodt, G.},
  title     = {Temperature dependence of the exchange splitting of Ni along the \&\#61511;-L line},
  series = {Journal de physique. 49 (1988), H. 12. Supplement, Colloque C8},
  journal   = {Journal de physique. 49 (1988), H. 12. Supplement, Colloque C8},
  pages     = {39 -- 40},
  year      = {1988},
  language  = {en}
}
@article{KaemperHagemannLehretal.1995,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Hagemann, B. and Lehr, H. and Michel, F.},
  title     = {LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; K{\"a}mper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Th{\"u}rigen, C.},
  series = {LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.},
  journal   = {LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.},
  publisher = {FSRM},
  address   = {Neuchatel},
  pages     = {100 -- 110},
  year      = {1995},
  language  = {en}
}
@article{KaemperPicardSchuetze2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Sch{\"u}tze, Andreas},
  title     = {K{\"o}nnen Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbst{\"a}ndig fertigen?},
  series = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]},
  journal   = {Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsf{\"o}rderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anl{\"a}ßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]},
  publisher = {AWNET},
  address   = {Berlin},
  isbn      = {978-3-89750-148-5},
  pages     = {26 -- 35},
  year      = {2007},
  language  = {de}
}
@inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003,
  author    = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus},
  title     = {Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW},
  year      = {2003},
  abstract  = {Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen w{\"a}chst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenh{\"a}nge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung", entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibr{\"u}cken, tr{\"a}gt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollst{\"a}ndigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchf{\"u}hren.},
  subject      = {LabVIEW},
  language  = {de}
}
@inproceedings{MertenKaemperBrilletal.2003,
  author    = {Merten, Sabine and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Brill, Manfred and Picard, Antoni and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus},
  title     = {Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor},
  year      = {2003},
  abstract  = {Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung" ist ein Beispiel f{\"u}r die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchf{\"u}hren.},
  subject      = {Virtuelle Maschine},
  language  = {de}
}
@article{PicardBrillCasseletal.2002,
  author    = {Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Rollwa, Markus and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Merten, Sabine},
  title     = {Neue Medien f{\"u}r die praktische MST-Ausbildung},
  organization    = {FH-Kaiserslautern},
  year      = {2002},
  abstract  = {Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibr{\"u}cken werden zwei neue moderne Anlagen f{\"u}r die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen f{\"u}r Herstellung d{\"u}nner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur f{\"u}r die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}
@article{KaemperPicardBrilletal.2003,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Brill, Manfred and Cassel, Detlev and Jentsch, Andreas and Merten, Sabine and Rollwa, Markus},
  title     = {The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies},
  year      = {2003},
  abstract  = {The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room.},
  subject      = {Virtuelle Maschine},
  language  = {en}
}
@misc{Kaemper2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1},
  year      = {2007},
  abstract  = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einf{\"u}hrung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 D{\"u}nnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 {\"A}tztechnologie 7 „Bulk Micromachining" 8 „Surface Micromachining" 9 Trocken{\"a}tzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik},
  subject      = {Mikrosystemtechnik},
  language  = {de}
}
@inproceedings{MertenConradKaemperetal.2006,
  author    = {Merten, Sabine and Conrad, Thorsten and K{\"a}mper, Klaus-Peter and Picard, Antoni and Sch{\"u}tze, Andreas},
  title     = {Virtual Technology Labs - an efficient tool for the preparation of hands-on-MEMS-courses in training foundries},
  year      = {2006},
  abstract  = {Hands-on-training in high technology areas is usually limited due to the high cost for lab infrastructure and equipment. One specific example is the field of MEMS, where investment and upkeep of clean rooms with microtechnology equipment is either financed by production or R\&D projects greatly reducing the availability for education purposes. For efficient hands-on-courses a MEMS training foundry, currently used jointly by six higher education institutions, was established at FH Kaiserslautern. In a typical one week course, students manufacture a micromachined pressure sensor including all lithography, thin film and packaging steps. This compact and yet complete program is only possible because participants learn to use the different complex machines in advance via a Virtual Training Lab (VTL). In this paper we present the concept of the MEMS training foundry and the VTL preparation together with results from a scientific evaluation of the VTL over the last three years.},
  subject      = {Virtuelles Laboratorium},
  language  = {en}
}
@misc{Kaemper2007,
  author    = {K{\"a}mper, Klaus-Peter},
  title     = {Lecture notes Sensors and Actuators},
  year      = {2007},
  abstract  = {Kennwortgesch{\"u}tzter Zugang nur f{\"u}r Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter K{\"a}mper. Wintersemester 2007/2008. Version vom 30.08.2007. 472 Seiten (pdf-Format)},
  subject      = {Sensor},
  language  = {en}
}