Dokument-ID Dokumenttyp Verfasser/Autoren Herausgeber Haupttitel Abstract Auflage Verlagsort Verlag Erscheinungsjahr Seitenzahl Schriftenreihe Titel Schriftenreihe Bandzahl ISBN Quelle der Hochschulschrift Konferenzname Bemerkung Quelle:Titel Quelle:Jahrgang Quelle:Heftnummer Quelle:Erste Seite Quelle:Letzte Seite URN DOI Zugriffsart Link Abteilungen OPUS4-8029 Wissenschaftlicher Artikel Wissen, M., ; Bogdanski, N., ; Scheer, H.-C., ; Bitz, Andreas, bitz@fh-aachen.de; Ahrens, G., ; Gruetzner, G., Implication of the light polarisation for UV curing of pre-patterned resists 2005 5 Microelectronic Engineering 78-79 659 664 10.1016/j.mee.2004.12.099 Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik