Dokument-ID Dokumenttyp Verfasser/Autoren Herausgeber Haupttitel Abstract Auflage Verlagsort Verlag Erscheinungsjahr Seitenzahl Schriftenreihe Titel Schriftenreihe Bandzahl ISBN Quelle der Hochschulschrift Konferenzname Bemerkung Quelle:Titel Quelle:Jahrgang Quelle:Heftnummer Quelle:Erste Seite Quelle:Letzte Seite URN DOI Zugriffsart Link Abteilungen OPUS4-2876 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Picard, A., ; Schütze, A., ; Wallach, D., Adopting the Foundry Concept of Semiconductor Fabrication on Educational Schemes and the Virtual Technology Lab (VTL). Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A.; Wallach, D.; Walter, T. 2006 NaN Mst-News (2006) 0948-3128 15, 16 u. 35 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik