Dokument-ID Dokumenttyp Verfasser/Autoren Herausgeber Haupttitel Abstract Auflage Verlagsort Verlag Erscheinungsjahr Seitenzahl Schriftenreihe Titel Schriftenreihe Bandzahl ISBN Quelle der Hochschulschrift Konferenzname Bemerkung Quelle:Titel Quelle:Jahrgang Quelle:Heftnummer Quelle:Erste Seite Quelle:Letzte Seite URN DOI Zugriffsart Link Abteilungen OPUS4-2887 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Ehrfeld, W., ; Hessel, V., ; Lacher, M., Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C. Piscataway, NJ IEEE Service Center 1997 XVI, 438 S. Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 0-7803-3664-X 71 79 bezahl http://dx.doi.org/10.1109/ICMEL.1997.625185 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik OPUS4-2886 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Ehrfeld, W., ; Döpper, J., ; Hessel, V., Microfluidic components for biological and chemical microreactors. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Döpper, J.; Hessel, V.; Lehr, H.; Löwe, H.; Richter, T.; Wolf, A. Piscataway, NJ IEEE Service Center 1997 XXIV, 545 S. : Ill., graph. Darst. Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Nagoya, Japan, January 26 - 30, 1997 / IEEE Robotics and Automation Society ... 0-7803-3744-1 International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <10, 1997, Nagoya> 338 343 bezahl http://dx.doi.org/10.1109/MEMSYS.1997.581849 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik OPUS4-2900 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Abraham, M., ; Ehrfeld, W., ; Hessel, V., Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A. 1998 5 Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) 0167-9317 International Conference on Micro- and Nanofarbication 47 52 campus http://dx.doi.org/10.1016/S0167-9317(98)00011-2 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik