Dokument-ID Dokumenttyp Verfasser/Autoren Herausgeber Haupttitel Abstract Auflage Verlagsort Verlag Erscheinungsjahr Seitenzahl Schriftenreihe Titel Schriftenreihe Bandzahl ISBN Quelle der Hochschulschrift Konferenzname Bemerkung Quelle:Titel Quelle:Jahrgang Quelle:Heftnummer Quelle:Erste Seite Quelle:Letzte Seite URN DOI Zugriffsart Link Abteilungen OPUS4-2887 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Ehrfeld, W., ; Hessel, V., ; Lacher, M., Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C. Piscataway, NJ IEEE Service Center 1997 XVI, 438 S. Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 0-7803-3664-X 71 79 bezahl http://dx.doi.org/10.1109/ICMEL.1997.625185 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik