Dokument-ID Dokumenttyp Verfasser/Autoren Herausgeber Haupttitel Abstract Auflage Verlagsort Verlag Erscheinungsjahr Seitenzahl Schriftenreihe Titel Schriftenreihe Bandzahl ISBN Quelle der Hochschulschrift Konferenzname Bemerkung Quelle:Titel Quelle:Jahrgang Quelle:Heftnummer Quelle:Erste Seite Quelle:Letzte Seite URN DOI Zugriffsart Link Abteilungen OPUS4-86 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Picard, Antoni, ; Brill, Manfred, ; Cassel, Detlev, ; Jentsch, Andreas, ; Merten, Sabine, merten@fh-aachen.de; Rollwa, Markus, The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room. 2003 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik