Dokument-ID Dokumenttyp Verfasser/Autoren Herausgeber Haupttitel Abstract Auflage Verlagsort Verlag Erscheinungsjahr Seitenzahl Schriftenreihe Titel Schriftenreihe Bandzahl ISBN Quelle der Hochschulschrift Konferenzname Bemerkung Quelle:Titel Quelle:Jahrgang Quelle:Heftnummer Quelle:Erste Seite Quelle:Letzte Seite URN DOI Zugriffsart Link Abteilungen OPUS4-2889 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Döpper, J., ; Ehrfeld, W., ; Oberbeck, S., A self-filling low-cost membrane micropump Piscataway, NJ IEEE Service Center 1998 XXX, 660 S. Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems / sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division 078034412X International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <11, 1998, Heidelberg> 432 437 bezahl http://dx.doi.org/10.1109/MEMSYS.1998.659796 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik OPUS4-2900 Wissenschaftlicher Artikel Kämper, Klaus-Peter, kaemper@fh-aachen.de; Abraham, M., ; Ehrfeld, W., ; Hessel, V., Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A. 1998 5 Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) 0167-9317 International Conference on Micro- and Nanofarbication 47 52 campus http://dx.doi.org/10.1016/S0167-9317(98)00011-2 Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik