TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Die Mikroaktorik wird erwachsen JF - INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband für Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002) Y1 - 2002 SP - 4 EP - 5 ER -