TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hagemann, B.
T1  - Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM
Y1  - 1996
SN  - 3-18-091269-3
N1  - VDI-Berichte ; 1269
SP  - 77
PB  - VDI-Verl.
CY  - Düsseldorf
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lacher, M.
A1  - Abraham, M.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Mikrosysteme für die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T.
JF  - Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schlüsseltechnologien für das 21. Jahrhundert"
Y1  - 1995
N1  - DGLR-Jahrestagung ; 1995
SP  - 415
EP  - 423
PB  - Deutsche Gesellschaft für Luft- und Raumfahrt
CY  - Lilienthal-Oberth
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
JF  - Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International
Y1  - 1994
N1  - MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart)
CY  - Stuttgart
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5
Y1  - 1993
SN  - 0931-2714
SP  - LXIX
EP  - LXXI
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlef (u.a.)
T1  - Neue Medien für die praktische MST Ausbildung
JF  - Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002)
Y1  - 2002
SP  - 14
EP  - 15
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Die Mikroaktorik wird erwachsen
JF  - INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband für Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)
Y1  - 2002
SP  - 4
EP  - 5
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni (u.a.)
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information – Communication – Knowledge engineering education today
JF  - Schriftenreihe Ingenieurpädagogik : Hochschule für Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49
Y1  - 2003
N1  - Referate des 32. Symposiums der Internationalen Gesellschaft für Ingenieurpädagogik,
SP  - 318
EP  - 321
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni (u.a.)
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Bildungsnetzwerke verbessern die Ausbildung in Hochtechnologien.
JF  - Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.)
Y1  - 2003
SN  - 3-935089-71-6
N1  - Konferenz-Einzelbericht: GfA Herbstkonf, HerbstKonf. der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft
SP  - 238
EP  - 241
PB  - Ergonomia-Verl.
CY  - Stuttgart
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev (u.a.)
T1  - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW
JF  - Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.)
Y1  - 2003
SN  - 3-7785-2908-0
N1  - Konferenz-Einzelbericht: Praxiswissen Elektronik-Industrie: Messtechnik -Automatisierung
SP  - 465
EP  - 470
PB  - Hüthig
CY  - Heidelberg
ER  - 
TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik
KW  - Mikrosystemtechnik
Y1  - 2007
ER  -