TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
JF  - Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International
Y1  - 1994
N1  - MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart)
CY  - Stuttgart
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5
Y1  - 1993
SN  - 0931-2714
SP  - LXIX
EP  - LXXI
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlef (u.a.)
T1  - Neue Medien für die praktische MST Ausbildung
JF  - Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002)
Y1  - 2002
SP  - 14
EP  - 15
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Die Mikroaktorik wird erwachsen
JF  - INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband für Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)
Y1  - 2002
SP  - 4
EP  - 5
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni (u.a.)
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information – Communication – Knowledge engineering education today
JF  - Schriftenreihe Ingenieurpädagogik : Hochschule für Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49
Y1  - 2003
N1  - Referate des 32. Symposiums der Internationalen Gesellschaft für Ingenieurpädagogik,
SP  - 318
EP  - 321
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni (u.a.)
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Bildungsnetzwerke verbessern die Ausbildung in Hochtechnologien.
JF  - Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.)
Y1  - 2003
SN  - 3-935089-71-6
N1  - Konferenz-Einzelbericht: GfA Herbstkonf, HerbstKonf. der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft
SP  - 238
EP  - 241
PB  - Ergonomia-Verl.
CY  - Stuttgart
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev (u.a.)
T1  - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW
JF  - Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.)
Y1  - 2003
SN  - 3-7785-2908-0
N1  - Konferenz-Einzelbericht: Praxiswissen Elektronik-Industrie: Messtechnik -Automatisierung
SP  - 465
EP  - 470
PB  - Hüthig
CY  - Heidelberg
ER  - 
TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik
KW  - Mikrosystemtechnik
Y1  - 2007
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
T1  - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
N2  - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - Photolithographie
KW  - Mikrotechnik
KW  - mikrotechnische Komponenten
KW  - Oxidationsofen
KW  - Oxidschicht
KW  - multimediale Lernsoftware
KW  - micro technology
KW  - micro-technical components
KW  - oxidation furnace
KW  - oxide coating
Y1  - 2002
ER  - 
TY  - CHAP
A1  - Merten, Sabine
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor
N2  - Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung“ ist ein Beispiel für die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchführen.
N2  - The technology course “Fabrication of a microsensor” represents a multimediabased approach towards education in high technology production in consideration of didactical aspects. The students learn the operation of a complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines before they perform the actual process in a hands-on training in an actual clean room.
KW  - Virtuelle Maschine
KW  - VM
KW  - Virtuelle Sensor-Fertigung
KW  - virtual fabrication of a microsensor
Y1  - 2003
ER  -