TY  - CHAP
A1  - Merten, Sabine
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor
N2  - Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung“ ist ein Beispiel für die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchführen.
N2  - The technology course “Fabrication of a microsensor” represents a multimediabased approach towards education in high technology production in consideration of didactical aspects. The students learn the operation of a complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines before they perform the actual process in a hands-on training in an actual clean room.
KW  - Virtuelle Maschine
KW  - VM
KW  - Virtuelle Sensor-Fertigung
KW  - virtual fabrication of a microsensor
Y1  - 2003
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Merten, Sabine
A1  - Rollwa, Markus
T1  - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies
N2  - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room.
KW  - Virtuelle Maschine
KW  - VM
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - MST
KW  - virtual clean room
Y1  - 2003
ER  -