TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Lecture notes Sensors and Actuators WS 2008/2009 N2 - Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2008/2009. 488 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids 14. Index N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Wintersemester 2008/2009. 488 Seiten (pdf-Format) KW - Sensor KW - Aktor KW - Sensoren KW - Aktoren KW - Sensores KW - Actuators KW - Microfabrication Y1 - 2008 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Können Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbständig fertigen? JF - Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsförderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anläßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007] Y1 - 2007 SN - 978-3-89750-148-5 N1 - Verlinkt ist der ganze Band. SP - 26 EP - 35 PB - AWNET CY - Berlin ER - TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1 N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik KW - Mikrosystemtechnik Y1 - 2007 ER - TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Lecture notes Sensors and Actuators N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Wintersemester 2007/2008. Version vom 30.08.2007. 472 Seiten (pdf-Format) N2 - Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2007/2008. Version 2007-08-30. 472 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids KW - Sensor KW - Aktor KW - Sensoren KW - Aktoren KW - Sensores KW - Actuators KW - Microfabrication Y1 - 2007 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, A. A1 - Schütze, A. A1 - Wallach, D. T1 - Adopting the Foundry Concept of Semiconductor Fabrication on Educational Schemes and the Virtual Technology Lab (VTL). Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A.; Wallach, D.; Walter, T. JF - Mst-News (2006) Y1 - 2006 SN - 0948-3128 SP - 15, 16 EP - u. 35 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Conrad, Thorsten A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Virtual Technology Labs - an efficient tool for the preparation of hands-on-MEMS-courses in training foundries N2 - Hands-on-training in high technology areas is usually limited due to the high cost for lab infrastructure and equipment. One specific example is the field of MEMS, where investment and upkeep of clean rooms with microtechnology equipment is either financed by production or R&D projects greatly reducing the availability for education purposes. For efficient hands-on-courses a MEMS training foundry, currently used jointly by six higher education institutions, was established at FH Kaiserslautern. In a typical one week course, students manufacture a micromachined pressure sensor including all lithography, thin film and packaging steps. This compact and yet complete program is only possible because participants learn to use the different complex machines in advance via a Virtual Training Lab (VTL). In this paper we present the concept of the MEMS training foundry and the VTL preparation together with results from a scientific evaluation of the VTL over the last three years. KW - Virtuelles Laboratorium KW - Virtuelles Labor KW - Hand-on-training KW - Virtual Technology Lab KW - MEMS ; education and training foundry Y1 - 2006 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni T1 - Praxisorientierte Ingenieurausbildung durch multimedial unterstützte Laborkurse. Merten, Sabine ; Kämper, Klaus-Peter ; Brill, Manfred ; Picard, Antoni JF - Online-Pädagogik. Bd. 3 Referenzmodelle und Praxisbeispiele / hrsg. von Burkhard Lehmann ... Y1 - 2005 SN - 3-89676-987-1 PB - Schneider-Verl. Hohengehren CY - Baltmannsweiler ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, A. A1 - Schütze, A. T1 - Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept für eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A. JF - Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle Y1 - 2005 SN - 3-8007-2926-1 N1 - Mikrosystemtechnik-Kongress <2005, Freiburg, Breisgau> SP - 127 PB - VDE-Verl. CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni (u.a.) T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information – Communication – Knowledge engineering education today JF - Schriftenreihe Ingenieurpädagogik : Hochschule für Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49 Y1 - 2003 N1 - Referate des 32. Symposiums der Internationalen Gesellschaft für Ingenieurpädagogik, SP - 318 EP - 321 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - The Virtual Cleanroom – a new tool in teaching MST process technologies JF - mst news International newsletter on micro - nano Integration (2003) Y1 - 2003 SN - 0948-3128 SP - 35 EP - 36 ER -