TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik
KW  - Mikrosystemtechnik
Y1  - 2007
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
T1  - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
N2  - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - Photolithographie
KW  - Mikrotechnik
KW  - mikrotechnische Komponenten
KW  - Oxidationsofen
KW  - Oxidschicht
KW  - multimediale Lernsoftware
KW  - micro technology
KW  - micro-technical components
KW  - oxidation furnace
KW  - oxide coating
Y1  - 2002
ER  -