TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Lüth, H. A1 - Thust, M. T1 - Neue Ansätze für Chemo- und Biosensoren in Siliziumtechnik JF - Physikalische Blätter. 53 (1997), H. 5 Y1 - 1997 SN - 0031-9279 SP - 423 EP - 427 ER -