TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Lecture notes Sensors and Actuators WS 2008/2009
N2  - Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2008/2009. 488 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids 14. Index
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Wintersemester 2008/2009. 488 Seiten (pdf-Format)
KW  - Sensor
KW  - Aktor
KW  - Sensoren
KW  - Aktoren
KW  - Sensores
KW  - Actuators
KW  - Microfabrication
Y1  - 2008
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Die Mikroaktorik wird erwachsen
JF  - INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband für Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)
Y1  - 2002
SP  - 4
EP  - 5
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Development of low-cost injection moulded micropumps. Entwicklung von kostengünstigen, mittels Spritzguß hergestellten Mikropumpen / Döpper, J. (u.a.)
JF  - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH
Y1  - 1996
N1  - Konferenz-Einzelbericht: ACTUATOR, Internat. Conf. on New Actuators, 5
SP  - 37
EP  - 40
CY  - Bremen
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
JF  - Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International
Y1  - 1994
N1  - MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart)
CY  - Stuttgart
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996
Y1  - 1996
N1  - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41
SP  - 121
EP  - 126
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Education and Training in MST. Kämper, K.-P.; Picard, A.; Brill, M.; Cassel, D.; Jentsch, A.; Merten, S.; Rollwa, M.
JF  - Mst-News (2003)
Y1  - 2003
SN  - 0948-3128
SP  - 35
ER  - 
TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik
KW  - Mikrosystemtechnik
Y1  - 2007
ER  - 
TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Lecture notes Sensors and Actuators
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Wintersemester 2007/2008. Version vom 30.08.2007. 472 Seiten (pdf-Format)
N2  - Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2007/2008. Version 2007-08-30. 472 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids
KW  - Sensor
KW  - Aktor
KW  - Sensoren
KW  - Aktoren
KW  - Sensores
KW  - Actuators
KW  - Microfabrication
Y1  - 2007
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Abraham, D. L.
A1  - Hopster, H.
T1  - Spin-polarized electron-energy-loss spectroscopy on epitaxial fcc Co layers on Cu(001)
JF  - Physical Review B. 45 (1992), H. 24
Y1  - 1992
SN  - 1095-3795
SP  - 14335
EP  - 14346
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Abraham, M.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hessel, V.
T1  - Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.
JF  - Microelectronic Engineering. 41-42 (1998)
Y1  - 1998
SN  - 0167-9317
N1  - International Conference on Micro- and Nanofarbication <Athens, Greece, 15 September - 18 September 1998>
SP  - 47
EP  - 52
ER  -