TY - JOUR A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine T1 - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung N2 - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt. KW - Mikrosystemtechnik KW - Photolithographie KW - Mikrotechnik KW - mikrotechnische Komponenten KW - Oxidationsofen KW - Oxidschicht KW - multimediale Lernsoftware KW - micro technology KW - micro-technical components KW - oxidation furnace KW - oxide coating Y1 - 2002 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus T1 - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW N2 - Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen wächst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenhänge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung“, entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibrücken, trägt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollständigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchführen. N2 - A new generation of university laboratory courses is presently being developed. Modern concepts for the understanding and learning of applied science and industrial fabrication processes are required. The technology course “Fabrication of a microsensor”, developed by the Universities of Applied Sciences Aachen and Zweibrücken in the joint research project INGMEDIA, represents a new approach towards education in high technology production. The students learn the operation of the complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines, programmed in LabVIEW, before they perform the actual process in a genuine clean room. KW - LabVIEW KW - Virtuelle Sensor-Fertigung KW - Fertigungsprozess KW - virtuelle Maschinen KW - virtual sensor fabrication KW - manufacturing process KW - virtual KW - virtual machines Y1 - 2003 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor N2 - Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung“ ist ein Beispiel für die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchführen. N2 - The technology course “Fabrication of a microsensor” represents a multimediabased approach towards education in high technology production in consideration of didactical aspects. The students learn the operation of a complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines before they perform the actual process in a hands-on training in an actual clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Virtuelle Sensor-Fertigung KW - virtual fabrication of a microsensor Y1 - 2003 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Thürigen, C. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Gesichtspunkte beim Miniaturisieren von Umlaufrädergetrieben. Thürigen, C.; Ehrfeld, W. ; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM Y1 - 1996 SN - 3-18-091269-3 N1 - VDI-Berichte ; 1269 SP - 235 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schulz, C. A1 - Arnold, J. A1 - Detter, H. T1 - Anwendungen der LIGA-Technik für medizinische Diagnose- und Therapiesysteme. Schulz, C.; Arnold, J.; Detter, H.; Döpper, J.; Ehrfeld, W., Erbel, R.; Kämper, K.-P.; Koch, L.; Lehr, H.; Roth, T. JF - Elektrotechnik und Informationstechnik. 112 (1995), H. 9 Y1 - 1995 SN - 0932-383X SP - 493 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Können Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbständig fertigen? JF - Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsförderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anläßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007] Y1 - 2007 SN - 978-3-89750-148-5 N1 - Verlinkt ist der ganze Band. SP - 26 EP - 35 PB - AWNET CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - Neue Medien für die praktische MST Ausbildung JF - Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002) Y1 - 2002 SP - 14 EP - 15 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, A. A1 - Schütze, A. T1 - Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept für eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A. JF - Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle Y1 - 2005 SN - 3-8007-2926-1 N1 - Mikrosystemtechnik-Kongress <2005, Freiburg, Breisgau> SP - 127 PB - VDE-Verl. CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni (u.a.) T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information – Communication – Knowledge engineering education today JF - Schriftenreihe Ingenieurpädagogik : Hochschule für Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49 Y1 - 2003 N1 - Referate des 32. Symposiums der Internationalen Gesellschaft für Ingenieurpädagogik, SP - 318 EP - 321 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni (u.a.) T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Bildungsnetzwerke verbessern die Ausbildung in Hochtechnologien. JF - Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.) Y1 - 2003 SN - 3-935089-71-6 N1 - Konferenz-Einzelbericht: GfA Herbstkonf, HerbstKonf. der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft SP - 238 EP - 241 PB - Ergonomia-Verl. CY - Stuttgart ER -