TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. A1 - Michel, F. T1 - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5 Y1 - 1993 SN - 0931-2714 SP - LXIX EP - LXXI ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Pappas, D. P. A1 - Miller, B. P. A1 - Hopster, H. T1 - Magnetism of ultrathin films of Fe on Cu(100). Pappas, D. P; Kämper, K.-P.; Miller, B. P.; Hopster, H.; Fowler, D. E.; Luntz, A. C.; Brundle, C.R.; Shen, Z.-X. JF - Journal of Applied Physics. 69 (1991), H. 8 Y1 - 1991 SN - 1089-7550 SP - 5209 EP - 521 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. A1 - Lacher, M. T1 - Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C. JF - Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 Y1 - 1997 SN - 0-7803-3664-X SP - 71 EP - 79 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Döpper, J. A1 - Clemens, M. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Micro gear pumps for dosing of viscous fluids. / Döpper, J. (u.a.) JF - Journal of Micromechanics and Microengineering. 7 (1997), H. 3 Y1 - 1997 SN - 0960-1317 SP - 230 EP - 232 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Döpper, J. T1 - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C. JF - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering Y1 - 1996 SN - 0277-786X N1 - Konferenz-Einzelbericht. SP - 202 EP - 210 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Döpper, J. A1 - Hessel, V. T1 - Microfluidic components for biological and chemical microreactors. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Döpper, J.; Hessel, V.; Lehr, H.; Löwe, H.; Richter, T.; Wolf, A. JF - Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Nagoya, Japan, January 26 - 30, 1997 / IEEE Robotics and Automation Society ... Y1 - 1997 SN - 0-7803-3744-1 N1 - International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <10, 1997, Nagoya> SP - 338 EP - 343 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Abraham, M. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. T1 - Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A. JF - Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) Y1 - 1998 SN - 0167-9317 N1 - International Conference on Micro- and Nanofarbication SP - 47 EP - 52 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 Y1 - 1996 N1 - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 SP - 121 EP - 126 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lacher, M. A1 - Abraham, M. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Mikrosysteme für die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T. JF - Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schlüsseltechnologien für das 21. Jahrhundert" Y1 - 1995 N1 - DGLR-Jahrestagung ; 1995 SP - 415 EP - 423 PB - Deutsche Gesellschaft für Luft- und Raumfahrt CY - Lilienthal-Oberth ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - Neue Medien für die praktische MST Ausbildung JF - Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002) Y1 - 2002 SP - 14 EP - 15 ER -