TY - JOUR A1 - Mohnke, Andreas A1 - Schuckel, G. T1 - Eigenschaften des Schichtsystems ZnO/Glas für die Mikroakustik. Schuckel, G.; Mohnke, A. JF - Technische Hochschule Ilmenau / Bibliothek: Wissenschaftliche Zeitschrift. 31 (1985), H. 4 Y1 - 1985 SN - 0043-6917 SP - 157 EP - 164 ER - TY - JOUR A1 - Mohnke, Andreas T1 - High-rate sputtering of zinc oxide with a funnel-shaped magnetic field: Effect of the target thickness on the layer properties JF - Vakuum-Technik. 36 (1987), H. 5 Y1 - 1987 SN - 0042-2266 N1 - unter 63 ZS 073-1986/87 in der Bibliothek Jülich vorhanden SP - 148 EP - 151 ER - TY - JOUR A1 - Mohnke, Andreas T1 - Kathodenzerstäubung von Zinkoxid für die Akustoelektronik JF - Universität : Wissenschaftliche Beiträge : WB (1985) Y1 - 1985 SN - 0440-1298 SP - 94 EP - 95 ER - TY - BOOK A1 - Mohnke, Andreas T1 - Lehr- und Übungsbuch Mikrosystemtechnik : Grundlagen ; mit 24 Tabellen Y1 - 2005 SN - 3-446-40007-9 PB - Fachbuchverl. Leipzig im Carl-Hanser-Verl. CY - München ER - TY - JOUR A1 - Mohnke, Andreas A1 - Schuckel, G. T1 - Tempern von Oberflächenwellenwandlern in Schichtstruktur JF - Technische Hochschule Ilmenau / Bibliothek: Wissenschaftliche Zeitschrift. 32 (1986), H. 3 Y1 - 1986 SN - 0043-6917 SP - 151 EP - 160 ER -