TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Abraham, M. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. T1 - Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A. JF - Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) Y1 - 1998 SN - 0167-9317 N1 - International Conference on Micro- and Nanofarbication SP - 47 EP - 52 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Berg, U. A1 - Lehr, H. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W. JF - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart Y1 - 1996 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 Y1 - 1996 N1 - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 SP - 158 EP - 163 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996 Y1 - 1996 SP - 1 EP - 13 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Döpper, J. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Oberbeck, S. T1 - A self-filling low-cost membrane micropump JF - Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems / sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division Y1 - 1998 SN - 078034412X N1 - International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <11, 1998, Heidelberg> SP - 432 EP - 437 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Döpper, J. A1 - Hessel, V. T1 - Microfluidic components for biological and chemical microreactors. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Döpper, J.; Hessel, V.; Lehr, H.; Löwe, H.; Richter, T.; Wolf, A. JF - Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Nagoya, Japan, January 26 - 30, 1997 / IEEE Robotics and Automation Society ... Y1 - 1997 SN - 0-7803-3744-1 N1 - International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <10, 1997, Nagoya> SP - 338 EP - 343 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. A1 - Lacher, M. T1 - Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C. JF - Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 Y1 - 1997 SN - 0-7803-3664-X SP - 71 EP - 79 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Development of micro and millimotors. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulz, C.; Thürigen C. JF - Minimally Invasive Therapy and Allied Technologies. 6 (1997) Y1 - 1997 SN - 1364-5706 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M. Y1 - 1996 PB - C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996 CY - Paderborn ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. A1 - Lehr, H. T1 - Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Thürigen, C.; Wittig, T. JF - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH Y1 - 1996 N1 - International Conference on New Actuators <5, 1996, Bremen> SP - 429 CY - Bremen ER -