TY  - JOUR
A1  - Starke, Günther
A1  - Zack, Y.
A1  - Friedrich, A.-P.
A1  - Drichel, E.
T1  - Simulationswerkzeug bei der Herstellung von mikroelektronischen Komponenten. Schnelles Beurteilen von Alternativen in der Produktionsplanung und im Fertigungsdesign
JF  - FB/IE - Zeitschrift für Unternehmensentwicklung und Industrial Engineering. 52 (2003), H. 5
Y1  - 2003
SN  - 1431-2271
SP  - 204
EP  - 212
ER  -