TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Kordos, P. A1 - Lüth, H. A1 - Ronkel, F. A1 - Schultze, J. W. T1 - Halbleiter-Schichtstrukturen mit porösem Silizium als Chemo- und Biosensoren JF - ITG-Fachbericht. 148 (1998) Y1 - 1998 SN - 0341-0196 SP - 33 EP - 40 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Steffen, A. A1 - Müller-Veggian, Mattea T1 - Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung JF - ITG-Fachbericht. 148 (1998) Y1 - 1998 SN - 0341-0196 SP - 257 EP - 263 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Prämassing, T. A1 - Beckers, L. A1 - Zander, W. T1 - Ein langzeitstabiler pH-Sensor auf Siliziumbasis hergestellt in Dünnschichttechnik mittels Laserablation JF - Chemie- und Biosensoren : aktuelle Anwendungen und Entwicklungstrends / 3. Dresdner Sensor-Symposium, 8. - 10. Dezember 1997, Dresden-Radebeul. J. P. Baselt ... (Hg.) Y1 - 1998 SN - 3-933168-03-1 N1 - Serie Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 5 SP - 99 EP - 102 PB - Dresden Univ. Press CY - Dresden ; München ER - TY - JOUR A1 - Glück, O. A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Lüth, H. A1 - Emons, H. A1 - Otto, A. T1 - Schwermetallbestimmung mittels Widerstandsmessungen und Voltammetrie an Dünnschichtelektroden JF - Chemie- und Biosensoren : aktuelle Anwendungen und Entwicklungstrends / 3. Dresdner Sensor-Symposium, 8. - 10. Dezember 1997, Dresden-Radebeul. J. P. Baselt ... (Hg.) Y1 - 1998 SN - 3-933168-03-1 N1 - Serie Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 5 SP - 165 EP - 168 PB - Dresden Univ. Press CY - Dresden ; München ER -