TY - JOUR A1 - Kloock, Joachim P. A1 - Poghossian, Arshak A1 - Schumacher, K. A1 - Rosenkranz, C. A1 - Schultze, J. W. A1 - Müller-Veggian, Mattea A1 - Schöning, Michael Josef T1 - Funktionsprüfung und Charakterisierung von ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFETs) auf Waferebene mittels Mikrotropfenzelle für den zukünftigen Einsatz in der Sensorproduktion JF - Sensoren und Messsysteme 2006 : Vorträge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14. März 2006 in Freiburg/Breisgau / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA). Wiss. Tagungsleitung: L. M. Reindl Y1 - 2006 SN - 3-8007-2939-3 N1 - Fachtagung Sensoren und Messsysteme <13, 2006, Freiburg, Breisgau> SP - 257 EP - 260 PB - VDE-Verl. CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Knobbe, D.-T. A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Poghossian, Arshak A1 - Mourzina, Y. T1 - Charakterisierung von kapazitiven EMISSensoren mittels Impedanzspektroskopie, Kapazitäts-Spannungs- und Konstant-Kapazitäts-Messung JF - Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. März 2004 / VDI-VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik Y1 - 2004 SN - 3-18-091829-2 N1 - Auch erschienen als: VDI-Berichte ; 1829 SP - 851 EP - 854 PB - VDI CY - Düsseldorf ER -