TY - JOUR T1 - Fachblatt, Jahrgang 2002; Sonderbeilage Auto N2 - Sparsam, leise, völlig unkonventionell: Raktor auf Samtreifen Porsche Athletic Aerodynamik und Design Koopertion zwischen Handwerk und Hochschule „Meinen Studenten empfehle ich die DFK“ Erkursion: Karmann Qualitätsmanagement T3 - Fachblatt / FH Aachen - 2002, S_Auto KW - Fachhochschule Aachen KW - Kraftfahrzeug KW - Auto KW - Aachen University of Applied Sciences KW - Car Y1 - 2002 ER - TY - JOUR A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine T1 - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung N2 - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt. KW - Mikrosystemtechnik KW - Photolithographie KW - Mikrotechnik KW - mikrotechnische Komponenten KW - Oxidationsofen KW - Oxidschicht KW - multimediale Lernsoftware KW - micro technology KW - micro-technical components KW - oxidation furnace KW - oxide coating Y1 - 2002 ER - TY - RPRT A1 - Hagemann, Hans-Jürgen A1 - Cardinal, Peter A1 - Gartzen, Johannes A1 - Köhler, Bernd A1 - Petschke, U. A1 - Reißmann, Günter T1 - Laser-Mikrostrukturierung von BaTiO3 Grünfolien und Keramiken : Abschlußbericht ; gefördert mit Mitteln aud dem Programm "Anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung an Fachhochschulen" des Bundesministeriums für Bildung, Wissenschaft, Forschung N2 - An BaTiO3 Keramik als Modellsubstanz und mit Nd:YAG- und Excimer-Lasern wurde die Mikrostrukturierung von Grünkörperpreßlingen, deren Schrumpfungsverhalten beim Sintern und die Mikrostrukturierung von gesinterten Keramiken untersucht. Für die bessere Vergleichbarkeit wurden alle keramischen Folien, Preßlinge und Sinterwerkstoffe im Rahmen des Projektes hergestellt. Die Nd:YAG Laserbearbeitung erfolgte mit einem Rasterverfahren, bei dem der fokussierte Strahl mit Hilfe eines Scanners und eines Umlenkspiegels entlang der Bearbeitungskontur geführt wurde. Bei der Excimer Laserbearbeitung wurden die Strukturen ohne Relativbewegung zwischen Strahlquelle und Bearbeitungsobjekt durch die Abbildung einer Maske erzeugt. Mit dem Nd:YAG Laser (Wellenlänge 1,06 µ m) war eine abtragende Bearbeitung nur bei den Grünkörpern, nicht aber bei den gesinterten Keramiken möglich. Mit dem Excimer Laser (Wellenlänge 248 nm) konnten dagegen sowohl Grünkörper als auch gesinterte Keramiken strukturiert werden. Wenn die Genauigkeitsanforderungen nicht unter ± 10 µm liegen, die Bearbeitungskonturen möglichst geradlinig sind und der Anteil der zu bearbeitenden Fläche klein ist, kann mit Nd:YAG-Lasern eine effiziente Mikrostukturierung von keramischen Grünkörpern durchgeführt werden. Strukturierte Grünkörper können reproduzierbar und unverzerrt zu keramischen Bauteilen gesintert werden. Mit Excimer-Lasern wird eine höhere Genauigkeit und Qualität bei der Bearbeitung von Grünkörpern und Keramiken erreicht. Die Bearbeitungseffizienz lässt sich durch eine hohe Pulswiederholfrequenz und durch die simultane Bearbeitung großer Flächen steigern. Das für Excimer-Laserstrahlung zweckmäßige Abbildungsverfahren hat besondere Vorteile, wenn ein flächiger Abtrag mit komplexen Strukturen verwirklicht werden soll, wobei Toleranzen und Reproduzierbarkeiten von besser als ± 5 µm realisiert werden konnten. Die Mikrostrukturierung mit Excimer-Lasern ist an Grünkörpern und an gebrannten Keramiken gleichermaßen möglich. Die Abtragsraten liegen bei Grünkörpern mit 0,2 µm pro Puls zwar um ca. 50% höher als bei Keramiken, es ist jedoch zweifelhaft, ob dieser Vorteil den größeren prozeßtechnischen Aufwand bei der Bearbeitung von Grünkörpern rechtfertigen kann. KW - Keramischer Werkstoff KW - Lasertechnik KW - Bariumtitanat Y1 - 1998 ER -