TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schulz, C. A1 - Arnold, J. A1 - Detter, H. T1 - Anwendungen der LIGA-Technik für medizinische Diagnose- und Therapiesysteme. Schulz, C.; Arnold, J.; Detter, H.; Döpper, J.; Ehrfeld, W., Erbel, R.; Kämper, K.-P.; Koch, L.; Lehr, H.; Roth, T. JF - Elektrotechnik und Informationstechnik. 112 (1995), H. 9 Y1 - 1995 SN - 0932-383X SP - 493 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Lehr, H. A1 - Michel, F. T1 - LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed. Y1 - 1995 N1 - University Enterprise Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems SP - 100 EP - 110 PB - FSRM CY - Neuchatel ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Döpper, J. T1 - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C. JF - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering Y1 - 1996 SN - 0277-786X N1 - Konferenz-Einzelbericht. SP - 202 EP - 210 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Development of low-cost injection moulded micropumps. Entwicklung von kostengünstigen, mittels Spritzguß hergestellten Mikropumpen / Döpper, J. (u.a.) JF - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH Y1 - 1996 N1 - Konferenz-Einzelbericht: ACTUATOR, Internat. Conf. on New Actuators, 5 SP - 37 EP - 40 CY - Bremen ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 Y1 - 1996 N1 - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 SP - 121 EP - 126 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M. Y1 - 1996 PB - C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996 CY - Paderborn ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Thürigen, C. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Gesichtspunkte beim Miniaturisieren von Umlaufrädergetrieben. Thürigen, C.; Ehrfeld, W. ; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM Y1 - 1996 SN - 3-18-091269-3 N1 - VDI-Berichte ; 1269 SP - 235 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM Y1 - 1996 SN - 3-18-091269-3 N1 - VDI-Berichte ; 1269 SP - 77 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. A1 - Lehr, H. T1 - Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Thürigen, C.; Wittig, T. JF - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH Y1 - 1996 N1 - International Conference on New Actuators <5, 1996, Bremen> SP - 429 CY - Bremen ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Berg, U. A1 - Lehr, H. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W. JF - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart Y1 - 1996 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Berg, U. A1 - Wolf, A. A1 - Lehr, H. T1 - Entwicklung von Linsenhaltern für ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W. JF - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart Y1 - 1996 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 Y1 - 1996 N1 - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 SP - 158 EP - 163 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996 Y1 - 1996 SP - 1 EP - 13 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Döpper, J. A1 - Clemens, M. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Micro gear pumps for dosing of viscous fluids. / Döpper, J. (u.a.) JF - Journal of Micromechanics and Microengineering. 7 (1997), H. 3 Y1 - 1997 SN - 0960-1317 SP - 230 EP - 232 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Döpper, J. A1 - Hessel, V. T1 - Microfluidic components for biological and chemical microreactors. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Döpper, J.; Hessel, V.; Lehr, H.; Löwe, H.; Richter, T.; Wolf, A. JF - Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Nagoya, Japan, January 26 - 30, 1997 / IEEE Robotics and Automation Society ... Y1 - 1997 SN - 0-7803-3744-1 N1 - International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <10, 1997, Nagoya> SP - 338 EP - 343 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. A1 - Lacher, M. T1 - Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C. JF - Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 Y1 - 1997 SN - 0-7803-3664-X SP - 71 EP - 79 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Development of micro and millimotors. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulz, C.; Thürigen C. JF - Minimally Invasive Therapy and Allied Technologies. 6 (1997) Y1 - 1997 SN - 1364-5706 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Berg, U. A1 - Begemann, M. A1 - Hagemann, B. (u.a.) T1 - Series production and testing of a micro motor. Serienfertigung und Prüfung eines Mikromotors JF - Actuator 98 : 6th International Conference on New Actuators ; 17 - 19 June, 1998, Bremen, Germany ; conference proceedings / ed.: Hubert Borgmann ... Y1 - 1998 SN - 3-933339-00-6 N1 - Konferenz-Einzelbericht: ACTUATOR, Internat. Conf. on New Actuators SP - 552 EP - 555 PB - Messe Bremen CY - Bremen ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Döpper, J. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Oberbeck, S. T1 - A self-filling low-cost membrane micropump JF - Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and systems / sponsored by the IEEE Robotics and Automation Society in cooperation with the ASME Dynamic Systems and Control Division Y1 - 1998 SN - 078034412X N1 - International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <11, 1998, Heidelberg> SP - 432 EP - 437 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Abraham, M. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. T1 - Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A. JF - Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) Y1 - 1998 SN - 0167-9317 N1 - International Conference on Micro- and Nanofarbication SP - 47 EP - 52 ER -