TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Merten, Sabine
A1  - Rollwa, Markus
T1  - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies
N2  - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room.
KW  - Virtuelle Maschine
KW  - VM
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - MST
KW  - virtual clean room
Y1  - 2003
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
T1  - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
N2  - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - Photolithographie
KW  - Mikrotechnik
KW  - mikrotechnische Komponenten
KW  - Oxidationsofen
KW  - Oxidschicht
KW  - multimediale Lernsoftware
KW  - micro technology
KW  - micro-technical components
KW  - oxidation furnace
KW  - oxide coating
Y1  - 2002
ER  -