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März. 1996 Y1 - 1996 SP - 1 EP - 13 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, A. A1 - Schütze, A. T1 - Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept für eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A. JF - Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle Y1 - 2005 SN - 3-8007-2926-1 N1 - Mikrosystemtechnik-Kongress <2005, Freiburg, Breisgau> SP - 127 PB - VDE-Verl. CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Sponagel, Stefan A1 - Kilthau, G. A1 - Spies, K. H. T1 - Sealing mechanism of lip seals JF - Eleventh 11th International Conference on Fluid Sealing : proceedings of the 11th Internat. 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