TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni (u.a.) T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information – Communication – Knowledge engineering education today JF - Schriftenreihe Ingenieurpädagogik : Hochschule für Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49 Y1 - 2003 N1 - Referate des 32. Symposiums der Internationalen Gesellschaft für Ingenieurpädagogik, SP - 318 EP - 321 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni (u.a.) T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Bildungsnetzwerke verbessern die Ausbildung in Hochtechnologien. JF - Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.) Y1 - 2003 SN - 3-935089-71-6 N1 - Konferenz-Einzelbericht: GfA Herbstkonf, HerbstKonf. der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft SP - 238 EP - 241 PB - Ergonomia-Verl. CY - Stuttgart ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev (u.a.) T1 - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW JF - Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.) Y1 - 2003 SN - 3-7785-2908-0 N1 - Konferenz-Einzelbericht: Praxiswissen Elektronik-Industrie: Messtechnik -Automatisierung SP - 465 EP - 470 PB - Hüthig CY - Heidelberg ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus T1 - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW N2 - Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen wächst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenhänge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung“, entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibrücken, trägt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollständigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchführen. N2 - A new generation of university laboratory courses is presently being developed. Modern concepts for the understanding and learning of applied science and industrial fabrication processes are required. The technology course “Fabrication of a microsensor”, developed by the Universities of Applied Sciences Aachen and Zweibrücken in the joint research project INGMEDIA, represents a new approach towards education in high technology production. The students learn the operation of the complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines, programmed in LabVIEW, before they perform the actual process in a genuine clean room. KW - LabVIEW KW - Virtuelle Sensor-Fertigung KW - Fertigungsprozess KW - virtuelle Maschinen KW - virtual sensor fabrication KW - manufacturing process KW - virtual KW - virtual machines Y1 - 2003 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Conrad, Thorsten A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Virtual Technology Labs - an efficient tool for the preparation of hands-on-MEMS-courses in training foundries N2 - Hands-on-training in high technology areas is usually limited due to the high cost for lab infrastructure and equipment. One specific example is the field of MEMS, where investment and upkeep of clean rooms with microtechnology equipment is either financed by production or R&D projects greatly reducing the availability for education purposes. For efficient hands-on-courses a MEMS training foundry, currently used jointly by six higher education institutions, was established at FH Kaiserslautern. In a typical one week course, students manufacture a micromachined pressure sensor including all lithography, thin film and packaging steps. This compact and yet complete program is only possible because participants learn to use the different complex machines in advance via a Virtual Training Lab (VTL). In this paper we present the concept of the MEMS training foundry and the VTL preparation together with results from a scientific evaluation of the VTL over the last three years. KW - Virtuelles Laboratorium KW - Virtuelles Labor KW - Hand-on-training KW - Virtual Technology Lab KW - MEMS ; education and training foundry Y1 - 2006 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Wesner, D. A. A1 - Güntherodt, G. T1 - Thickness dependence of the spin- and angle-resolved photoemission of ultrathin, epitaxial Ni(111)/W(110) layers JF - Applied Physics A: Materials Science and Processing. 49 (1989), H. 6 Y1 - 1989 SN - 1432-0630 SP - 573 EP - 578 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Thickness dependence of the electronic structure of ultrathin, epitaxial Ni(111)/W(110) layers. JF - Physical Review B. 38 (1988), H. 14 Y1 - 1988 SN - 1095-3795 SP - 9451 EP - 9456 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - The Virtual Cleanroom – a new tool in teaching MST process technologies JF - mst news International newsletter on micro - nano Integration (2003) Y1 - 2003 SN - 0948-3128 SP - 35 EP - 36 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Merten, Sabine A1 - Rollwa, Markus T1 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies N2 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Mikrosystemtechnik KW - MST KW - virtual clean room Y1 - 2003 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - The influence of adsorbates on the spin-resolved photoemission of Ni(110). Schmitt, W.; Kämper, K.-P.; Güntherodt, G. JF - Surface Science. 189/190 (1987) Y1 - 1987 SN - 0039-6028 N1 - Proceedings of the Ninth European Conference on Surface Science SP - 741 EP - 507 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Temperature dependence of the exchange splitting of Ni along the -L line JF - Journal de physique. 49 (1988), H. 12. Supplement, Colloque C8 Y1 - 1988 N1 - Proceedings of the International conference on Magnetism. Part 1. ICM 88, Paris, France, Juli 25-29, 1988 SP - 39 EP - 40 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Temperature and wave-vector dependence of the spin-split band structure of Ni(111) along the Γ-L line JF - Physical Review B. 42 (1990), H. 16 Y1 - 1990 SN - 1095-3795 SP - 10696 EP - 10705 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Kurzawa, R. A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Spin-resolved photoemission study of in situ grown epitaxial Fe layers on W(110). Kurzawa, R.; Kämper, K.-P.; Schmitt, W.; Güntherodt, G. JF - Solid State Communications. 60 (1986), H. 10 Y1 - 1986 SN - 0038-1098 SP - 777 EP - 780 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Abraham, D. L. A1 - Hopster, H. T1 - Spin-polarized electron-energy-loss spectroscopy on epitaxial fcc Co layers on Cu(001) JF - Physical Review B. 45 (1992), H. 24 Y1 - 1992 SN - 1095-3795 SP - 14335 EP - 14346 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Pappas, D. P. A1 - Miller, B. P. A1 - Hopster, H. T1 - Spin-dependent electron attenuation by transmission through thin ferromagnetic films . Pappas, D. P.; Kämper,K.-P.; Miller, B. P.; Hopster, H.; Fowler, D. E.; Brundle, C. R.; Luntz, A. C.; Shen, Z.-X. JF - Physical Review Letters. 66 (1991), H. 4 Y1 - 1991 SN - 1079-7114 SP - 504 EP - 507 ER - TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1 N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik KW - Mikrosystemtechnik Y1 - 2007 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Döpper, J. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Simulation supported design of LIGA Microsystems. Kämper, K.-P.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Hill, S.D.J.; Lehr, H. JF - Simulation and design of microsystems and microstructures : [... contains the papers presented at the First International Conference on the Simulation and Design of Microsystems and Microstructures, MicroSIM '95, which was held in Southampton, UK, in September 1995] / [organised by: Wessex Institute of Technology, UK]. Ed.: R. A. Adey Y1 - 1995 SN - 1-85312-390-0 SP - 3 EP - 10 PB - Computational Mechanics Publ. CY - Southampton [u.a.] ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Berg, U. A1 - Begemann, M. A1 - Hagemann, B. (u.a.) T1 - Series production and testing of a micro motor. Serienfertigung und Prüfung eines Mikromotors JF - Actuator 98 : 6th International Conference on New Actuators ; 17 - 19 June, 1998, Bremen, Germany ; conference proceedings / ed.: Hubert Borgmann ... Y1 - 1998 SN - 3-933339-00-6 N1 - Konferenz-Einzelbericht: ACTUATOR, Internat. Conf. on New Actuators SP - 552 EP - 555 PB - Messe Bremen CY - Bremen ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Pappas, D. P. A1 - Hopster, H. T1 - Reversible transition between perpendicular and in-plane magnetization in ultrathin films. Pappas, D. P.; Kämper, K.-P.; Hopster, H. JF - Physical Review Letters. 64 (1990), H. 26 Y1 - 1990 SN - 1079-7114 SP - 3179 EP - 3182 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni T1 - Praxisorientierte Ingenieurausbildung durch multimedial unterstützte Laborkurse. Merten, Sabine ; Kämper, Klaus-Peter ; Brill, Manfred ; Picard, Antoni JF - Online-Pädagogik. Bd. 3 Referenzmodelle und Praxisbeispiele / hrsg. von Burkhard Lehmann ... Y1 - 2005 SN - 3-89676-987-1 PB - Schneider-Verl. Hohengehren CY - Baltmannsweiler ER -