TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Picard, Antoni
A1  - Schütze, Andreas
T1  - Können Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbständig fertigen?
JF  - Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsförderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anläßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007]
Y1  - 2007
SN  - 978-3-89750-148-5
N1  - Verlinkt ist der ganze Band.
SP  - 26
EP  - 35
PB  - AWNET
CY  - Berlin
ER  - 
TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik
KW  - Mikrosystemtechnik
Y1  - 2007
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni
T1  - Praxisorientierte Ingenieurausbildung durch multimedial unterstützte Laborkurse. Merten, Sabine ; Kämper, Klaus-Peter ; Brill, Manfred ; Picard, Antoni
JF  - Online-Pädagogik. Bd. 3 Referenzmodelle und Praxisbeispiele / hrsg. von Burkhard Lehmann ...
Y1  - 2005
SN  - 3-89676-987-1
PB  - Schneider-Verl. Hohengehren
CY  - Baltmannsweiler
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Picard, A.
A1  - Schütze, A.
T1  - Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept für eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A.
JF  - Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle
Y1  - 2005
SN  - 3-8007-2926-1
N1  - Mikrosystemtechnik-Kongress <2005, Freiburg, Breisgau>
SP  - 127
PB  - VDE-Verl.
CY  - Berlin
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni (u.a.)
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Information – Communication – Knowledge engineering education today
JF  - Schriftenreihe Ingenieurpädagogik : Hochschule für Bildungswissenschaften in Klagenfurt ; Band 49
Y1  - 2003
N1  - Referate des 32. Symposiums der Internationalen Gesellschaft für Ingenieurpädagogik,
SP  - 318
EP  - 321
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni (u.a.)
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor: Bildungsnetzwerke verbessern die Ausbildung in Hochtechnologien.
JF  - Kooperation und Arbeit in vernetzten Welten : Tagungsband der GFA-Herbstkonferenz 2003, Aachen, 29. September - 01. Oktober 2003 / Holger Luczak (Hrsg.)
Y1  - 2003
SN  - 3-935089-71-6
N1  - Konferenz-Einzelbericht: GfA Herbstkonf, HerbstKonf. der Gesellschaft für Arbeitswissenschaft
SP  - 238
EP  - 241
PB  - Ergonomia-Verl.
CY  - Stuttgart
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev (u.a.)
T1  - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW
JF  - Virtuelle Instrumente in der Praxis : Messtechnik, Automatisierung ; Begleitband zum Kongress VIP 2003 / Rahman Jamal ; Hans Jaschinski (Hrsg.)
Y1  - 2003
SN  - 3-7785-2908-0
N1  - Konferenz-Einzelbericht: Praxiswissen Elektronik-Industrie: Messtechnik -Automatisierung
SP  - 465
EP  - 470
PB  - Hüthig
CY  - Heidelberg
ER  - 
TY  - CHAP
A1  - Merten, Sabine
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
T1  - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW
N2  - Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen wächst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenhänge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung“, entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibrücken, trägt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollständigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchführen.
N2  - A new generation of university laboratory courses is presently being developed. Modern concepts for the understanding and learning of applied science and industrial fabrication processes are required. The technology course “Fabrication of a microsensor”, developed by the Universities of Applied Sciences Aachen and Zweibrücken in the joint research project INGMEDIA, represents a new approach towards education in high technology production. The students learn the operation of the complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines, programmed in LabVIEW, before they perform the actual process in a genuine clean room.
KW  - LabVIEW
KW  - Virtuelle Sensor-Fertigung
KW  - Fertigungsprozess
KW  - virtuelle Maschinen
KW  - virtual sensor fabrication
KW  - manufacturing process
KW  - virtual
KW  - virtual machines
Y1  - 2003
ER  - 
TY  - CHAP
A1  - Merten, Sabine
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor
N2  - Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung“ ist ein Beispiel für die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchführen.
N2  - The technology course “Fabrication of a microsensor” represents a multimediabased approach towards education in high technology production in consideration of didactical aspects. The students learn the operation of a complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines before they perform the actual process in a hands-on training in an actual clean room.
KW  - Virtuelle Maschine
KW  - VM
KW  - Virtuelle Sensor-Fertigung
KW  - virtual fabrication of a microsensor
Y1  - 2003
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Die Mikroaktorik wird erwachsen
JF  - INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband für Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)
Y1  - 2002
SP  - 4
EP  - 5
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlef (u.a.)
T1  - Neue Medien für die praktische MST Ausbildung
JF  - Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002)
Y1  - 2002
SP  - 14
EP  - 15
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
T1  - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
N2  - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - Photolithographie
KW  - Mikrotechnik
KW  - mikrotechnische Komponenten
KW  - Oxidationsofen
KW  - Oxidschicht
KW  - multimediale Lernsoftware
KW  - micro technology
KW  - micro-technical components
KW  - oxidation furnace
KW  - oxide coating
Y1  - 2002
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996
Y1  - 1996
N1  - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41
SP  - 121
EP  - 126
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
T1  - Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.
Y1  - 1996
PB  - C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996
CY  - Paderborn
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Thürigen, C.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hagemann, B.
T1  - Gesichtspunkte beim Miniaturisieren von Umlaufrädergetrieben. Thürigen, C.; Ehrfeld, W. ; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM
Y1  - 1996
SN  - 3-18-091269-3
N1  - VDI-Berichte ; 1269
SP  - 235
PB  - VDI-Verl.
CY  - Düsseldorf
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hagemann, B.
T1  - Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM
Y1  - 1996
SN  - 3-18-091269-3
N1  - VDI-Berichte ; 1269
SP  - 77
PB  - VDI-Verl.
CY  - Düsseldorf
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Berg, U.
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
JF  - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Y1  - 1996
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Berg, U.
A1  - Wolf, A.
A1  - Lehr, H.
T1  - Entwicklung von Linsenhaltern für ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
JF  - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Y1  - 1996
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Abel, S.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996
Y1  - 1996
N1  - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41
SP  - 158
EP  - 163
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
T1  - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996
Y1  - 1996
SP  - 1
EP  - 13
ER  -