TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1 N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik KW - Mikrosystemtechnik Y1 - 2007 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Merten, Sabine A1 - Rollwa, Markus T1 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies N2 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Mikrosystemtechnik KW - MST KW - virtual clean room Y1 - 2003 ER - TY - JOUR A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine T1 - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung N2 - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt. KW - Mikrosystemtechnik KW - Photolithographie KW - Mikrotechnik KW - mikrotechnische Komponenten KW - Oxidationsofen KW - Oxidschicht KW - multimediale Lernsoftware KW - micro technology KW - micro-technical components KW - oxidation furnace KW - oxide coating Y1 - 2002 ER -