TY - JOUR A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine T1 - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung N2 - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt. KW - Mikrosystemtechnik KW - Photolithographie KW - Mikrotechnik KW - mikrotechnische Komponenten KW - Oxidationsofen KW - Oxidschicht KW - multimediale Lernsoftware KW - micro technology KW - micro-technical components KW - oxidation furnace KW - oxide coating Y1 - 2002 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus T1 - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW N2 - Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen wächst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenhänge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung“, entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibrücken, trägt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollständigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchführen. N2 - A new generation of university laboratory courses is presently being developed. Modern concepts for the understanding and learning of applied science and industrial fabrication processes are required. The technology course “Fabrication of a microsensor”, developed by the Universities of Applied Sciences Aachen and Zweibrücken in the joint research project INGMEDIA, represents a new approach towards education in high technology production. The students learn the operation of the complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines, programmed in LabVIEW, before they perform the actual process in a genuine clean room. KW - LabVIEW KW - Virtuelle Sensor-Fertigung KW - Fertigungsprozess KW - virtuelle Maschinen KW - virtual sensor fabrication KW - manufacturing process KW - virtual KW - virtual machines Y1 - 2003 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor N2 - Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung“ ist ein Beispiel für die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchführen. N2 - The technology course “Fabrication of a microsensor” represents a multimediabased approach towards education in high technology production in consideration of didactical aspects. The students learn the operation of a complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines before they perform the actual process in a hands-on training in an actual clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Virtuelle Sensor-Fertigung KW - virtual fabrication of a microsensor Y1 - 2003 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Conrad, Thorsten A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Virtual Technology Labs - an efficient tool for the preparation of hands-on-MEMS-courses in training foundries N2 - Hands-on-training in high technology areas is usually limited due to the high cost for lab infrastructure and equipment. One specific example is the field of MEMS, where investment and upkeep of clean rooms with microtechnology equipment is either financed by production or R&D projects greatly reducing the availability for education purposes. For efficient hands-on-courses a MEMS training foundry, currently used jointly by six higher education institutions, was established at FH Kaiserslautern. In a typical one week course, students manufacture a micromachined pressure sensor including all lithography, thin film and packaging steps. This compact and yet complete program is only possible because participants learn to use the different complex machines in advance via a Virtual Training Lab (VTL). In this paper we present the concept of the MEMS training foundry and the VTL preparation together with results from a scientific evaluation of the VTL over the last three years. KW - Virtuelles Laboratorium KW - Virtuelles Labor KW - Hand-on-training KW - Virtual Technology Lab KW - MEMS ; education and training foundry Y1 - 2006 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Merten, Sabine A1 - Rollwa, Markus T1 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies N2 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Mikrosystemtechnik KW - MST KW - virtual clean room Y1 - 2003 ER - TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Lecture notes Sensors and Actuators WS 2008/2009 N2 - Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2008/2009. 488 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids 14. Index N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Wintersemester 2008/2009. 488 Seiten (pdf-Format) KW - Sensor KW - Aktor KW - Sensoren KW - Aktoren KW - Sensores KW - Actuators KW - Microfabrication Y1 - 2008 ER - TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1 N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik KW - Mikrosystemtechnik Y1 - 2007 ER - TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Lecture notes Sensors and Actuators N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Wintersemester 2007/2008. Version vom 30.08.2007. 472 Seiten (pdf-Format) N2 - Password necessarily. Access only for Students by Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Winter semester 2007/2008. Version 2007-08-30. 472 pages (pdf) Contents 1. Introduction 2. Introduction to Sensors 3. Introduction to Microfabrication 4. Pressure Sensors 5. Acceleration Sensors 6. Angular Rate Sensors 7. Position Sensors 8. Flow Sensors 9. Piezoelectric Actuators 10. Magnetostrictive Actuators 11. Actuators based on Shape Memory Alloys 12. Actuators based on Electrorheological Fluids 13. Actuators based on Magnetorheological Fluids KW - Sensor KW - Aktor KW - Sensoren KW - Aktoren KW - Sensores KW - Actuators KW - Microfabrication Y1 - 2007 ER -