TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Döpper, J. T1 - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C. JF - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering Y1 - 1996 SN - 0277-786X N1 - Konferenz-Einzelbericht. SP - 202 EP - 210 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. A1 - Lehr, H. T1 - Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Thürigen, C.; Wittig, T. JF - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH Y1 - 1996 N1 - International Conference on New Actuators <5, 1996, Bremen> SP - 429 CY - Bremen ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Development of low-cost injection moulded micropumps. Entwicklung von kostengünstigen, mittels Spritzguß hergestellten Mikropumpen / Döpper, J. (u.a.) JF - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH Y1 - 1996 N1 - Konferenz-Einzelbericht: ACTUATOR, Internat. Conf. on New Actuators, 5 SP - 37 EP - 40 CY - Bremen ER -