TY  - CHAP
A1  - Merten, Sabine
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Brill, Manfred
A1  - Picard, Antoni
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
T1  - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor
N2  - Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung“ ist ein Beispiel für die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchführen.
N2  - The technology course “Fabrication of a microsensor” represents a multimediabased approach towards education in high technology production in consideration of didactical aspects. The students learn the operation of a complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines before they perform the actual process in a hands-on training in an actual clean room.
KW  - Virtuelle Maschine
KW  - VM
KW  - Virtuelle Sensor-Fertigung
KW  - virtual fabrication of a microsensor
Y1  - 2003
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
T1  - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
N2  - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - Photolithographie
KW  - Mikrotechnik
KW  - mikrotechnische Komponenten
KW  - Oxidationsofen
KW  - Oxidschicht
KW  - multimediale Lernsoftware
KW  - micro technology
KW  - micro-technical components
KW  - oxidation furnace
KW  - oxide coating
Y1  - 2002
ER  -