TY  - JOUR
A1  - Mohnke, Andreas
T1  - Kathodenzerstäubung von Zinkoxid für die Akustoelektronik
JF  - Universität <Halle, Saale>:  Wissenschaftliche Beiträge : WB (1985)
Y1  - 1985
SN  - 0440-1298
SP  - 94
EP  - 95
ER  -