TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Yoshinobu, T.
A1  - Schubert, J.
A1  - Steffen, A.
A1  - Lüth, H.
T1  - Innovative Schichttechniken und Messprinzipien für kapazitive Feldeffektsensoren
JF  - Sensoren und Mess-Systeme : Vorträge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. März 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl ....
Y1  - 2002
SN  - 3-8007-2675-0
N1  - Sensoren und Mess-Systeme 2002
SP  - 151
EP  - 154
PB  - VDE-Verl.
CY  - Berlin [u.a.]
ER  -