TY - JOUR A1 - Knobbe, D.-T. A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Poghossian, Arshak A1 - Mourzina, Y. T1 - Charakterisierung von kapazitiven EMISSensoren mittels Impedanzspektroskopie, Kapazitäts-Spannungs- und Konstant-Kapazitäts-Messung JF - Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. März 2004 / VDI-VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik Y1 - 2004 SN - 3-18-091829-2 N1 - Auch erschienen als: VDI-Berichte ; 1829 SP - 851 EP - 854 PB - VDI CY - Düsseldorf ER - TY - JOUR A1 - Poghossian, Arshak A1 - Wagner, H. A1 - Schöning, Michael Josef T1 - Automatisiertes „wafer level“-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren JF - Sensoren und Messsysteme 2010 [Elektronische Ressource] : Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in Nürnberg / Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG); VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA) Y1 - 2010 SN - 978-3-8007-3260-9 N1 - Fachtagung Sensoren und Messsysteme 15, 2010, Nürnberg ; Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik SP - 89 EP - 92 PB - VDE Verlag CY - Berlin ER -