TY  - JOUR
A1  - Müller-Veggian, Mattea
A1  - Hamacher, A.
A1  - Protic, D.
A1  - Riepe, G.
T1  - Doping of germanium by ion implantation
JF  - Annual report 1992 / Forschungszentrum Jülich Institut für Kernphysik / Baur, G. (Hrsg.). - (Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 2726)
Y1  - 1993
SP  - 274
PB  - Verlag des Forschungszentrums Jülich
CY  - Jülich
ER  -