TY  - JOUR
A1  - Kloock, Joachim P.
A1  - Poghossian, Arshak
A1  - Schumacher, K.
A1  - Rosenkranz, C.
A1  - Schultze, J. W.
A1  - Müller-Veggian, Mattea
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Funktionsprüfung und Charakterisierung von ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFETs) auf Waferebene mittels Mikrotropfenzelle für den zukünftigen Einsatz in der Sensorproduktion
JF  - Sensoren und Messsysteme 2006 : Vorträge der 13. ITG/GMA-Fachtagung vom 13. bis 14. März 2006 in Freiburg/Breisgau / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ; VDE/VDI-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA). Wiss. Tagungsleitung: L. M. Reindl
Y1  - 2006
SN  - 3-8007-2939-3
N1  - Fachtagung Sensoren und Messsysteme <13, 2006, Freiburg, Breisgau>
SP  - 257
EP  - 260
PB  - VDE-Verl.
CY  - Berlin
ER  -