TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Abraham, M.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hessel, V.
T1  - Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.
JF  - Microelectronic Engineering. 41-42 (1998)
Y1  - 1998
SN  - 0167-9317
N1  - International Conference on Micro- and Nanofarbication <Athens, Greece, 15 September - 18 September 1998>
SP  - 47
EP  - 52
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lacher, M.
A1  - Abraham, M.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Mikrosysteme für die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T.
JF  - Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schlüsseltechnologien für das 21. Jahrhundert"
Y1  - 1995
N1  - DGLR-Jahrestagung ; 1995
SP  - 415
EP  - 423
PB  - Deutsche Gesellschaft für Luft- und Raumfahrt
CY  - Lilienthal-Oberth
ER  -