TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Thust, M.
A1  - Steffen, A.
A1  - Müller-Veggian, Mattea
T1  - Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
JF  - ITG-Fachbericht. 148 (1998)
Y1  - 1998
SN  - 0341-0196
SP  - 257
EP  - 263
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Thust, M.
A1  - Kordos, P.
A1  - Lüth, H.
A1  - Ronkel, F.
A1  - Schultze, J. W.
T1  - Halbleiter-Schichtstrukturen mit porösem Silizium als Chemo- und Biosensoren
JF  - ITG-Fachbericht. 148 (1998)
Y1  - 1998
SN  - 0341-0196
SP  - 33
EP  - 40
ER  -