TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Lüth, H. A1 - Thust, M. T1 - Neue Ansätze für Chemo- und Biosensoren in Siliziumtechnik JF - Physikalische Blätter. 53 (1997), H. 5 Y1 - 1997 SN - 0031-9279 SP - 423 EP - 427 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Steffen, A. A1 - Müller-Veggian, Mattea T1 - Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung JF - ITG-Fachbericht. 148 (1998) Y1 - 1998 SN - 0341-0196 SP - 257 EP - 263 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Kordos, P. A1 - Lüth, H. A1 - Ronkel, F. A1 - Schultze, J. W. T1 - Halbleiter-Schichtstrukturen mit porösem Silizium als Chemo- und Biosensoren JF - ITG-Fachbericht. 148 (1998) Y1 - 1998 SN - 0341-0196 SP - 33 EP - 40 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. T1 - Miniaturisierbare Halbleitersensoren für die Penicillinbestimmung in der Biotechnologie JF - MessTec. 3 (1996) Y1 - 1996 SN - 0947-4234 SP - 82 EP - 85 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Steffen, A. A1 - Kordos, P. A1 - Lüth, H. A1 - Kauffmann, F. A1 - Hoffmann, B. T1 - Halbleiter-Biosensoren für den Penicillin-Nachweis in wäßrigen Lösungen JF - Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. März 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik. Y1 - 1996 SN - 3-18-091255-3 N1 - VDI-Berichte; 1255 SP - 143 EP - 148 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf ER -