TY - JOUR A1 - Turek, Monika A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Kloock, Joachim P. A1 - Schubert, Jürgen A1 - Zander, Willi A1 - Krüger, Peter A1 - Keusgen, Michael T1 - Herstellung und Charakterisierung eines hybriden Sensorarrays auf Halbleiterbasis für die Umweltanalytik JF - Sensoren und Messsysteme 2008 : 14. Fachtagung Ludwigsburg, 11. und 12. März 2008 / VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik Y1 - 2008 SN - 978-3-18-092011-5 N1 - VDI-Berichte ; 2011 ; Sensoren und Messsysteme 2008, 14. GMA/ITG-Fachtagung, VDI/VDE- Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik, + CD-ROM, Ludwigsburg, DE, 11.-12. Mar, 2008 SP - 803 EP - 810 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf ER - TY - CHAP A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Abouzar, Maryam H. A1 - Wagner, Torsten A1 - Näther, Niko A1 - Rolka, David A1 - Yoshinobu, Tatsuo A1 - Kloock, Joachim P. A1 - Turek, Monika A1 - Ingebrandt, Sven A1 - Poghossian, Arshak T1 - A semiconductor-based field-effect platform for (bio-)chemical and physical sensors: From capacitive EIS sensors and LAPS over ISFETs to nano-scale devices T2 - MRS Proceedings Y1 - 2006 U6 - http://dx.doi.org/10.1557/PROC-0952-F08-02 N1 - Vol. 952 - Symposium F - Integrated Nanosensors SP - 1 EP - 9 ER -