TY - JOUR A1 - Hagemann, Hans-Jürgen A1 - Geittner, P. A1 - Mayr, W. A1 - Opitz, J. F. A. T1 - Folientechnologie für zukünftige keramische Vielschichtkondensatoren. Geittner, P.; Hagemann, H.-J.;Mayr, W. ; Opitz, J.F.A. ; Schmidl, B.; Warnier, J. JF - Ceramic forum international : cfi ; Berichte der Deutschen Keramischen Gesellschaft. 8 (1993), H. 5 Y1 - 1993 SN - 0173-9913 N1 - weitere ISSN 0196-6219 SP - 5 EP - 15 ER - TY - JOUR A1 - Hagemann, Hans-Jürgen A1 - Geittner, P. A1 - Schnittker, W. A1 - Warnier, J. T1 - Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H. JF - Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989) Y1 - 1989 SP - 140 EP - 143 ER -